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中圖儀器3d視覺輪廓儀測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

中圖儀器3d輪廓掃描儀是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

中圖儀器3d光學輪廓儀高精度測量儀在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

SuperVirewW1光學3d表面輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

中圖SuperViewW1三維光學表面輪廓儀以白光干涉技術為原理，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業(yè)產品的檢測。

?SJ5730-100國產輪廓測量儀器具有12mm~14mm以上的大量程粗糙度測量范圍，分辨率達到1nm或更高，可以一次測量同時評定輪廓和粗糙度參數。儀器配置了特殊分離式操作桿，操作桿在儀器操作移動時，可放置在任何位置控制操作，在測量工件前對測針進行粗定位；在脫離電腦的情況下，操作桿具備左右/上下移動測針、急停、測桿上下角度擺動及速度分多級調節(jié)功能。