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光學(xué)掃描式成像測量機(jī)輪廓儀，以光學(xué)成像測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，配合高精度運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和花崗巖龍門式底座，實(shí)現(xiàn)了測量精度、速度、穩(wěn)定的**結(jié)合；結(jié)合高精度圖像分析算法，并融入閃測原理，在測量范圍內(nèi)，任意擺放工件位置、方向、角度，儀器都可自動(dòng)定位測量對象、匹配模板、測量評價(jià)、報(bào)表生成，真正實(shí)現(xiàn)快速精準(zhǔn)測量。

?SJ5730-100小型輪廓測量儀采用超高精度衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能伺服驅(qū)動(dòng)電機(jī)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，能實(shí)現(xiàn)對工件表面粗糙度和輪廓進(jìn)行高精度測量和分析。

?SuperViewW系列3d輪廓一鍵測量儀也叫白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求。

SJ5718-PR一鍵式輪廓度測量儀器除了具有高科技含量外，還將測試表面粗糙度和表面輪廓兩種功能有機(jī)地設(shè)計(jì)在同一臺儀器上，其輪廓及粗糙度測量功能可互換，更適合于深孔測量的粗糙度模塊，是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器。

?中圖儀器輪廓測量儀SuperViewW1是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀器的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。